1200C Тризонна система нагріву PECVD
1200C Тризонна система нагріву PECVD

1200C Тризонна система нагріву PECVD

SK2-CVD-12TPB4 – це трубчаста піч для системи PECVD, що складається з радіочастотного джерела живлення потужністю 300 Вт або 500 Вт, багатоканальної прецизійної системи потоку, вакуумної системи та трубчастої печі. Зазвичай використовується температура 1100 градусів за Цельсієм або нижче, а її основними характеристиками є низька температура осадження, швидка швидкість, гарна якість плівки, менша кількість точкових отворів і менша схильність до розтріскування. Ідеальний пристрій для вирощування нанодротів або приготування різних тонких плівок методом CVD.
Послати повідомлення
Особливість

 

● Максимальна температура RT -1200 град

● Роздільний тип печі, ви можете відкрити піч.

● Може вводити більше ніж 2 канали газу зі ступенем вакууму 10 Па за допомогою механічного насоса та радіочастотного джерела живлення потужністю 500 Вт для посилення сигналу.

● Ізоляційні матеріали з керамічного волокна високої якості

● Точність контролю температури ±1 градус

● З функцією сигналізації про перегрівання

● Вентилятор охолодження може знизити температуру корпусу

 

Модель

SK2-CVD-12TPB4

Розміри: Стандартна довжина зони нагріву (мм)

440 мм

Розміри: Стандартний діаметр труби (мм)

∮60 мм

Максимальна температура

1200 градусів, безперервна робоча температура 1100 градусів.

Напруга (В)

220 1P

Тип термопари

K

Нагрівальний елемент

Опірний дріт HRE

Temp.Precision

±1 градус

Швидкість нагріву

Безкоштовне налаштування 0-30 градусів/хв

Матеріал камери

Використання передового високоякісного мікрокристалічного волокнистого матеріалу з оксиду алюмінію

Конструкція печі

Двошарова структура з повітряним охолодженням, температура поверхні менше 60 градусів

Регулятор температури

Інтелектуальний ПІД-регулятор температури, 30 програмних сегментів, контроль SSR, функція самонастроювання параметрів ПІД; програма підвищення температури, програма теплозбереження, програма охолодження

ВЧ джерело живлення 500 Вт

Вихідна потужність: 5-500Вт ±1 градус

РЧ частота: 13,56 МГц ±0.005%

Відображена потужність: до 100 Вт

Збіг: Автоматичний

Радіочастотний інтерфейс: 50 Ом, N-тип

Охолодження: повітряне охолодження

Джерело живлення: змінний струм 208-240V, 50/60 Гц

4-канальна система прецизійного потоку газу

1. Повномасштабна швидкість потоку (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) мл/хв. 10 л/хв.

2. Тип клапана: клапан Solenold.

3. Положення клапана: Нормально закрите.

4. Перепад тиску: (50-300)kpa

5. Стійкість до тиску: 3 мпа.

6. Робоча температура: 5-45 градусів

7. Матеріали: нержавіюча сталь 316L.

Вакуумна система

5*10-3Па

Швидке з’єднання KF25, сильфон з нержавіючої сталі, ручний заслінний клапан і фланець, вакуумний насос

Додатково можна оснастити системи більш високого вакууму.

image001

ЛАСКАВО ПРОСИМО OEM/ODM

 

Стандартні аксесуари

 

Терморукавички|Тигельний гачок|Термопара|Трубний блок|Посібник користувача |Інструменти|Вакуумний насос| Кварцова трубка|Фланець|Ущільнювальне кільце|Газовий шланг 10 мм|Фланцева опора, газова система, радіочастотне живлення.

 

Додатково

 

Різна зона нагріву на ваш вибір;

РК сенсорний екран для вибору

Порт RS485/USB для підключення комп’ютера на вибір.

 

Детальне зображення для CVD-PECVD

 

image003
ВЧ джерело живлення 500 Вт
image005
Вакуумна система
image007
4-канальна система прецизійного потоку газу

 

застосування

 

Цей пристрій в основному використовується для вирощування нанодротів або підготовки різних тонких плівок за допомогою методу CVD.

 

Гарантія

 

Річна гарантія та довічна технічна підтримка

Особливі поради:

1. Гарантійний термін не поширюється на витратні матеріали, такі як нагрівальний елемент, кварцова трубка, тигель для зразків тощо.

2. Гарантія не поширюється на пошкодження, спричинені використанням корозійного та кислотного газу.

 

Популярні Мітки: 1200c три зони нагріву системи pecvd, Китай 1200c три зони нагріву pecvd системи виробники, постачальники