Вакуумна піч, як правило, складається з основного двигуна, камери печі, електричного нагрівального пристрою, герметичної оболонки печі, вакуумної системи, системи живлення, системи контролю температури та зовнішнього транспортного засобу. Герметичний кожух печі зварений з вуглецевої або нержавіючої сталі, а з’єднувальні поверхні роз’ємних частин ущільнені вакуумним ущільнювальним матеріалом. Щоб запобігти деформації корпусу печі після нагрівання та пошкодженню ущільнювального матеріалу при нагріванні, корпус печі зазвичай охолоджується водою або повітрям. Топкова камера розташована всередині герметичної топки. Залежно від призначення печі топкова камера оснащена різними типами нагрівальних елементів, такими як резистори, індукційні котушки, електроди, електронні гармати. Вакуумні печі для плавки металу обладнані тиглями, а деякі — автоматичними розливними пристроями і маніпуляторами для завантаження і вивантаження. Вакуумна система в основному складається з вакуумного насоса, вакуумного клапана та вакуумметра.