Вакуумна піч, тобто в певному просторі камери печі, вакуумна система (ретельно зібрана вакуумним насосом, приладом для вимірювання вакууму, вакуумним клапаном та іншими компонентами) використовується для вивантаження частини речовин у камері печі, так що тиск у камері печі менший за стандартний атмосферний тиск, і простір у камері печі використовується для досягнення стану вакууму, який є вакуумною піччю.
Вакуумна піч - це пристрій, який нагрівається в середовищі вакууму. Камера печі з’єднана трубами з високовакуумною насосною системою в печі, герметично закритою кришкою з металу або кварцового скла. Ступінь вакууму в печі може досягати 133×(10-2~10-4)Па. Система опалення в печі може нагріватися безпосередньо електричним нагріванням дроту печі опору (наприклад, вольфрамового дроту) або вона може нагріватися високочастотною індукцією. Максимальна температура може досягати близько 3000 градусів. Він в основному використовується для випалювання кераміки, вакуумної плавки, дегазації та відпалу електричних вакуумних частин, пайки металевих частин та ущільнення металокераміки.
